マイセックは半導体製造工程等に使用する、高温ガスチューブヒーターを開発、2024年4月頃からの販売開始を予定しています。
マイセック「高温ガスチューブヒーター」
従来の高温ガス移送の工程では製造プロセスの配管に各種ヒーターを後付けすることが主流でしたが、今回開発した高温ガスチューブヒーターはフレキシブル配管に新開発した最高使用温度300℃の被覆付きヒーターを直接編み込むことにより配管への熱伝導性を高め、配管内の温度ムラを低減させる事に成功しました。
これによりチューブ配管内の固化を防ぎ、製造現場での歩留まり率の低減が期待されています。
ヒーターを配管に直接編み込むことに加え、特殊な断熱材を使用することにより従来の後付けヒーターより、仕上がり外径を細くすることに成功し省スペース化を実現しています。
また製品表面温度を95℃以下に抑えることで他設備への熱影響の低減に貢献します。
開発した高温ガスチューブヒーターは電源電圧を100V仕様にすることによって製造ラインのみならず、ラボ内での実験といった工場以外での使用も可能となります。
また、本製品は12月13日(水)～15日(金)に東京ビッグサイトにて開催されるSEMICON Japan 2023に出展、展示されます。
製品仕様
電圧 ：100[V］
電力 ：250[W]
最高使用温度 ：300[℃]
寸法 ：1.56m
販売価格 ：オープン価格
実用新案登録番号：3209680
イベント概要
イベント名： SEMICON Japan 2023
開催日時 ： 2023年12月13日(水)～15日(金)
開催場所 ： 東京ビッグサイト
ブース番号： 7506
参加費 ： 参加無料(事前登録有)
マイセックが2024年4月に発売する「高温ガスチューブヒーター」の紹介でした。
