マイセックは、半導体製造工程などで使用される高温ガスチューブヒーターを開発し、2025年1月から販売を開始する予定です。
マイセック「高温ガスチューブヒーター」
電圧 ：100[V］
電力 ：250[W]
最高使用温度 ：300[℃]
寸法 ：1.56m
販売価格 ：オープン価格
実用新案登録番号：3209680
マイセックは、半導体製造工程などで使用される高温ガスチューブヒーターを開発し、2025年1月から販売を開始する予定。
昨今、人工知能(AI)の急速な普及に伴い、AI向け半導体の製造に対応したガスチューブヒーターの需要が増大しています。
従来の半導体製造工程では、200℃の温度制御が必要でしたが、AI用次世代半導体の製造工程では、より高温な250℃での温度制御が求められます。
マイセックは、AI用次世代半導体の製造工程に対応し、さらに均熱性に優れた高温ガスチューブヒーターを開発しました。
高温ガスの移送工程では、これまで配管に各種ヒーターを後付けする方法が主流でしたが、この方式では取付けのばらつきにより、均熱性の確保が難しいという課題がありました。
しかし、今回開発した高温ガスチューブヒーターは、新たに開発された最高使用温度300℃の電気ヒーターをフレキシブル配管に直接編み込むことで、熱伝導性を向上させ、配管内部の温度ムラを低減することに成功しました。
均熱性の確保は、配管内のガスの結晶化防止にも貢献し、生産効率の向上に繋がります。
ヒーターを配管に直接編み込む技術は、実用新案権(実用新案登録第3209680号)を取得したマイセック独自の技術です。
この製法により、従来にない250℃という高温での温度制御と均熱性の確保に成功しました。
ヒーター編込み写真
■省スペース設計・低表面温度を実現
軽量で断熱性に優れた断熱材のエアロゲルを使用することで、断熱効果を向上させ、断熱材を含めたチューブ外径35mmに抑え、従来の後付けヒーターよりも省スペース設計に成功しました。
また、チューブヒーターの表面温度を80℃以下に抑えることで、他設備への熱影響の低減にも貢献しています。
温度テストグラフ
